二手 SHIBAURA CDE 80 #9085091 待售

SHIBAURA CDE 80是一种高性能的蚀刻器/asher，用于各种基板去除应用。这种装置能够高精度地去除天然或氧化物层，沉积薄膜，并对基板进行图桉化。该机配备了EDP 3蚀刻控制器、RIE蚀刻室、石英管射频发生器、支撑板、窗板等合格部件。复杂的控制器单元支持复杂的蚀刻操作,用于蚀刻隔离特征和群集特征。EPD三控RIE腔室的设计是为了生产高密度的等离子体，具有极好的均匀性，以便对中区基板进行一致的加工。此外，射频发生器能够产生高达1,400 °C的温度，从而能够进行氧化物和氮化物蚀刻。提供了一个独立的窗板，用于石英管，允许观察操作过程中的蚀刻过程。SHIBAURA CDE-80可以使用多种选项或消耗品进行定制,例如各种气体供应和若干来源。可以指定内部和外部冷却器,以便在蚀刻操作期间冷却系统或基板。此外，可以提供外部ECR输入，以进一步加强蚀刻操作。CDE 80可以进行一系列令人印象深刻的先进基板蚀刻程序，使其成为原型、元件生产和研究的绝佳选择。设备可靠、精确、有效，为用户提供了对整个过程的高度控制和准确性。这种先进的蚀刻系统非常适合生产需要严格控制蚀刻特性的基板，也非常适合寻求高产量的用户。