二手 SHIBAURA CDE 80 #9243622 待售
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ID: 9243622
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Isotropic poly etcher, 8"
Install type: Stand-alone
Etching method: Microwave-utilized chemical dry etch
Cassette interface:
SMIF Ready
Does not include load-port
25 Wafer cassettes
Etching chamber:
Single wafer etching
Microwave PS:
DAIHEN SGP-10B
2.45 GHz, 1kW
Pressure control (Std conductance valve control):
MKS 627AA
Gas:
Gas # Gas MFC size (SCCM)
1 O2 500
2 CF4 500
3 N2 200
4 CF4 100
5 CL2 200
Chiller:
TAITEC CH-402-BF-42P
Operating temperature: 70°C
Remote console
Status lamp
Power requirements: 200 V, 60Hz, 3 Phase
1996 vintage.
SHIBAURA CDE 80是一款最先进的蚀刻器/asper,专为易于使用和可靠的结果而设计。它具有特别设计的散热头,旨在确保连续可靠的性能。这种热头能够快速加热和冷却,以便在各种表面产生精确、高分辨率的结果。SHIBAURA CDE-80还采用了一系列集成技术,例如封闭式腔室和保形涂层,以保护蚀刻过程不受灰尘或其他环境因素的影响。为确保精确蚀刻,CDE 80包括多种功能,以确保获得最高质量的结果。激光控制单元提供多种激光设置,保证了不同材料范围的正确参数,高速扫描单元能够精确扫描表面积。可追踪性功能的选择也确保了用户准确的生产过程。CDE-80的焦平面是可调的,可以指定为更好地控制蚀刻过程。通过调整焦平面,用户可以提高其蚀刻工艺的质量。此外,随机器提供的软件可用于配置机器并创建各种不同的蚀刻模式。SHIBAURA CDE 80的设计使它易于使用和用户友好。所有必要的按钮和旋钮都以逻辑方式放置,以便于控制,清晰的液晶显示屏提供有关计算机操作的反馈。机器的边缘设计了符合人体工程学的形状和设计,使其舒适的处理和工作。总体而言,SHIBAURA CDE-80 蚀刻器/asper是一个可靠和高效的机器,提供精密蚀刻各种材料。符合人体工程学的设计和集成技术使其易于使用和配置,而功能的选择则确保了准确高效的蚀刻过程。CDE 80具有强大的硬件和直观的软件,可为任何需要可靠蚀刻和定位机器的人提供经济实惠且可靠的解决方桉。
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