二手 SHIBAURA CFS-12P-100H #32091 待售

SHIBAURA CFS-12P-100H是一种最先进的蚀刻器/asher,它使用户能够通过使用专门的等离子体、气体和热处理技术来获得卓越的蚀刻和灰化效果。CFS-12P-100H能够对包括硅、玻璃、陶瓷和金属在内的各种材料进行各向同性和各向异性蚀刻和灰化。该设备设计用于在100级或1000级洁净室中直接安装,其性能已测试为每小时100件。该机组的加工室采用不锈钢建造，并配有密封真空室、石英管/阴极、加热器和石英板。此外,独特的双密封设计可防止腔室之间的污染,而先进的射频电源输送设备可在整个过程周期中准确控制输入电源。退火清洗系统采用陶瓷加热器和集成换热器，以提供精确的温度控制和消除热过冲。SHIBAURA CFS-12P-100H还配备了先进的可变RF功率传递单元，提供对输出功率的优越控制，而独特的双腔等离子体机器则允许最大深度的蚀刻和低温操作。CFS-12P-100H还与各种气体和化学品兼容，非常适合广泛的蚀刻和灰化应用。该装置是为安全和可靠性而设计的，配备了多种安全装置，以保护加工室、射频发生器和用户免受可能的危险，并在紧急情况下采用集成式自动关机。总体而言,SHIBAURA CFS-12P-100H是一款高级蚀刻器/asher,专为卓越的蚀刻和灰化性能而设计,允许用户以最安全的方式获得最高质量的结果。