二手 SHIBAURA ICE 300 / CDE 300 #9097207 待售

SHIBAURA ICE 300 / CDE 300
ID: 9097207
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Asher, 12" (2) Chambers 2003 vintage.
SHIBAURA ICE 300/CDE 300 蚀刻器/asher是一种高性能的自动化阵列设备,可精确快速地处理尺寸达到300 mm的基板表面。该模型能够产生高达5微米的非常高的分辨率。它配备了强大的模块化软件控制蚀刻系统,可以容纳多种工艺化学物质。该单元设计用于支持复杂的基板,包括石英、集成电路基板和地形不均匀的整体基板。ICE 300/CDE 300有几个特点,包括高精度机械臂、用于清洁基板表面的精密洗涤器和高频超声波发生器。自动臂能够以纳米精度将基板精确定位在蚀刻机上。强大的洗涤器可以从基板表面去除极其薄薄的材料层,从而在图样制作过程中实现无缝过渡。高频超声发生器确保了一致和均匀的蚀刻深度。SHIBAURA ICE 300/CDE 300利用强大的运动控制软件,精确控制蚀刻深度和放置,以及温度、浓度、时间等工艺参数。此软件使用户能够以数字方式预览和控制相邻模式之间的空间差异。其他软件控制功能包括基板处理研究、测试轮询和数据监控。它们旨在减少设备停机时间并优化吞吐量。ICE 300/CDE 300还利用各种安全协议来确保以安全可靠的方式运行。这包括一台对二氧化碳和高频浓度进行监测的排气举报机;监测电流泄漏的地面故障保护工具,以及防止操作员处理不当的人机互锁资产。SHIBAURA ICE 300/CDE 300是一款先进的蚀刻器/asher,旨在支持湿蚀刻、干蚀刻等各种工艺技术。它以极其精确和快速的处理速度提供高精度的阵列设计功能。这款蚀刻器/asher得到了一个强大的软件模型的支持,该模型能够准确高效地控制其所有功能,同时还提供了多种安全协议。凭借其先进的功能,这台机器是一种非常可靠且经济高效的阵列化服务解决方桉。
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