二手 SHIBAURA ICE 300 #9405111 待售

SHIBAURA ICE 300是一种干蚀刻、化学辅助等离子体系统，用于高精度微图样。这种设备非常适合用于学术界、微电子学和生物制造。它是一款用途广泛、可靠、用户友好的蚀刻器/asher，适用于半导体、玻璃和陶瓷等多种材料。ICE 300是用13.56MHz发电机建造的，提供精确高效的材料蚀刻到纳米级。发电机还提供了高度稳定的压力控制，因此可以实现精确的蚀刻深度。发电机连接到一个压力室、一个氙气、氧气和/或氮气的来源和一个微波沉积系统，给工具精确操纵蚀刻深度、掩模水平、蚀刻角度和蚀刻宽度。SHIBAURA ICE 300有一个电子束枪，用来定义边缘和遮罩边界。它有一个光学梯度样品运动系统，可以快速准确地设定所需的蚀刻角度。它还具有全回路射频电源控制,使用户能够快速实现所需的蚀刻,并以高精度和重复性重复其结果。为了安全起见，ICE 300有一个反射窗口，可以防止高能粒子在蚀刻和灰化过程中撞击人员。这是一个闭环过程，有很多冗余的地方，以防止任何重大事故。SHIBAURA ICE 300是一种通用工具，能够蚀刻氧化铝和硅片、SiO2/SiN、聚合物和有机材料等多种材料。它还提供了制作微型图桉的绝佳机会,包括50 µm以下的特性。它也是一种人性化的蚀刻器，这就是为什么它适合微电子和生物制造应用的原因。总之，ICE 300是微电子、生物制造和其他实验室应用的优秀蚀刻器和粉碎器。它提供精确的阵列和卓越的可重复性,是各种应用程序的可靠且用户友好的工具。