二手 SHIBAURA ICE/RPA 300 #9405822 待售

ID: 9405822
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Remote plasma ashing system, 12" Gases: O2, N2, He, H2, Ar, CF4 APC Pressure control Strong electric board Atmospheric loader ASYST LP Power supply: KYOSAN PC1 Source RF power supply: 3 kW KYOSAN PC1 Vias RF Power supply: 1 kW DAIHEN PC2 Microwave power supply: 3 kW 2005 vintage.
SHIBAURA ICE/RPA 300是一款高级蚀刻器/asher,专为大容量工艺应用而设计。它为蚀刻/灰化结果提供了完美的精度和准确性。该机由紧凑的底座和刚性的空白保持单元组成,带有机动负载和驱动系统,便于使用。其先进的控制制热系统提供100°C至600°C的温度控制能力,精度为+/-3 °C。加热盒具有独立的冷却电路,可实现快速的响应时间和稳定的温度。SHIBAURA ICE/RPA 300具有强大的可编程控制器,能够控制速度、温度、电流、功率和压力等过程参数。控制器能够存储多达32个处理配方,以便在无需手动输入的情况下快速运行流程。它配有彩色触摸屏和扩展的控制面板,帮助操作员准确设置和监控他们的工艺配方。该机装有一个强大的真空泵,可维持真空高达10-5 torr&可在一定压力范围内操作,以创造和维持所需的蚀刻/灰化环境。泵通过真空调节器进行保护,以保持真空以进行精密蚀刻/灰化。SHIBAURA ICE/RPA 300还配备了压力表和臭氧开启/关闭开关,可帮助操作员维持其过程控制。该机器在设计时考虑到辐射安全,并使用红外辐射屏蔽,以降低暴露于危险水平的风险。防护罩包括安全切口和温度传感器,设计用于在必要时启动系统关闭。SHIBAURA ICE/RPA 300非常适合用于制造、医学和研究应用。该机具有精密蚀刻/灰化功能,能够快速、准确地蚀刻/灰化各种材料。该机耐用、可靠、易用,是大批量工艺的绝佳选择。
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