二手 SHIBAURA / SHIBATEC ICE 200 #9404529 待售

SHIBAURA/SHIBATEC ICE 200是晶圆级工艺和热工艺的蚀刻器/粉碎器，在半导体工业中广泛使用。该设备能够为晶圆加工提供高精度和高速度，以及高精度和快速的热处理。SHIBAURA ICE 200的蚀刻/灰化过程分三个阶段进行，以确保最大精度和产量。第一步是通过脱脂和洗涤剂工艺清洗晶圆表面。该工艺采用多速率晶圆处理设备进行优化，该设备对接触力敏感，能够进行高速处理。清洗过程完成后,下一步将涉及晶片表面的蚀刻或灰化。SHIBATEC ICE 200设计用于各种气体、等离子体气体和化学物质，允许对各种材料进行蚀刻/灰化。蚀刻/灰化过程的最后一步包括钝化过程，该过程可帮助保护成品晶片免受环境污染。钝化有助于保持材料的特性，以及保持其电气和光学性能。ICE 200能够提供长达五小时的钝化过程。为了确保最大精度，SHIBAURA/SHIBATEC ICE 200配备了集成视觉系统。这个单元包括光学显微镜，其可调分辨率高达常规视觉机器的五倍。该工具还允许更精确地对准和定位晶片，从而能够更快、更精确地进行蚀刻/灰化。SHIBAURA ICE 200还配备了高效冷却资产，能够提供至-30 °C的冷却能力。此模型有助于防止材料热损坏,同时确保始终高效运行。综上所述，SHIBATEC ICE 200是一种为晶圆加工和热处理而设计的蚀刻器/asher。这种用途广泛的设备在三阶段过程中提供了极其精确和快速的蚀刻/灰度处理,并包括一个集成的视觉系统以实现更高的精度,以及一个高效的冷却单元以实现更可靠的性能。