二手 SHIBAURA U-ASH8100 #9226215 待售

SHIBAURA U-ASH8100是一种高性能的干式蚀刻和灰化设备，具有极好的工艺灵活性和均匀性。该系统利用离子束和电子冲击来有效蚀刻和粉刷各种材料，包括硅、低k和先进的光刻胶。蚀刻器配备了可靠、易用、直观的用户界面，使处理变得简单高效。它最多可配置三个加工室，可在单室或双室单元操作中操作。该蚀刻器还具有先进的腔室清洗序列，有效地消除了加工腔室中的颗粒和薄膜残留物，显着提高了工艺可靠性。SHIBAURA U ASH8100利用高达2000V的射频电压有效蚀刻和灰化薄膜。这允许在广泛的加工温度范围内对薄膜材料进行深、均匀的蚀刻和灰化。这台用途广泛的机器可以使用单个或双气体喷射器操作，允许广泛的工艺，包括反应性离子蚀刻（RIE）、离子束蚀刻（IBE）和离子束辅助热解吸（IBT）。UASH 8100还包括一个真空法兰，便于与其他真空系统集成。这允许用户创建模块化系统,然后可以实现自动化。还可以通过基于RS485或以太网的通信远程控制和监视蚀刻站和灰化站。U-ASH8100设计在30 mTorr和2 Tor之间运行,温度可高达1000摄氏度。该工具还配备了高级多频调谐模块，允许用户根据特定应用程序的需要调整蚀刻/灰度频率。这也提高了过程的可重复性和统一性，确保了一致的结果。SHIBAURA UASH 8100是蚀刻和灰化薄膜的绝佳选择，提供可靠和均匀的结果。它具有直观的界面,易于操作,其过程可重复性和灵活性使其成为工业和研究应用的理想资产。对于需要可靠、高效的蚀刻/灰化解决方桉的用户,U ASH8100是理想的模型。