二手 SHINKO SEIKI SWP #9112625 待售

SHINKO SEIKI SWP是一种专门为去除半导体材料中游离表面上的有机抗原残留物而设计的蚀刻器/asher。该机的特点包括先进的加热气体和电等离子体技术，用于清洁、精确和安全的蚀刻。集成的陶瓷淋浴板提供了工作材料的均匀蚀刻。机器还配有排气系统，防止气体泄漏和排放。SWP进行的过程从应用电气使一室残留气体电离开始。这种气体随后通过特殊的管道移动到腔室的顶部，在此过程中被分解并电离。然后释放产生的离子，为去除材料提供蚀刻能力。蚀刻层厚度可以通过使用一个特殊的阀门来控制气体输送的速度以及腔室内的压力。然后借助氮气和氧气元素调节腔室大气，控制蚀刻气体的分解程度。结果是溢价蚀刻率对加工材料的热损害最小。该机还具有温度控制系统,可控制室温与200°C之间的温度范围。使用低压产生均匀而温和的蚀刻，不会造成热疲劳或对加工材料造成任何损害。系统被编程为在分阶段蚀刻所需组件的多步蚀刻过程中运行。该过程快速高效,无需人工干预。SHINKO SEIKI SWP还包含一个粒子和微粒探测器，用于监测蚀刻残留物和其他污染物。检测器有助于确保成品清洁，不含任何有害颗粒。该装置还具有一个自动清洁循环，可定期清除所有灰尘和微粒。SWP 蚀刻器/asher还提供了额外的软件包来控制蚀刻过程,并且该机器能够远程访问以方便操作。结合先进的技术特点，SHINKO SEIKI SWP 蚀刻器/Asher是一种高效可靠的蚀刻和灰化工艺仪器。