二手 SINGULUS Silex II cleantex 2800 #9353274 待售

SINGULUS Silex II cleantex 2800 蚀刻器/asher是一种高精度、经济高效的蚀刻和灰化设备,可提供一致的结果。它配备了专门为满足最终用户和工艺工程师的要求而设计的工艺参数。Cleantex 2800是一个独立的蚀刻器/asher系统,提供独特的高级功能组合,包括集成的过程控制单元以及广泛的优化功能,可快速、精确地处理光刻胶和厚层。Cleantex 2800专为硅片、厚膜材料和半导体器件的高精度蚀刻和灰化而设计。机器配备了各种蚀刻和灰化选项，如深蚀刻、口袋蚀刻、深灰化。Ashing process is actured in a closed cell where the oxygen feed rate is cairly controlled for hamogeous and repeatable results.该单元具有严格的工艺参数，能够在短时间内获得高精度结果。该工具提供了具有高可重复性的最佳过程结果。它的"快速灰化"工艺能够对大量晶片进行高吞吐量处理。综合流程控制资产"Smartview"提供实时数据反馈和编程帮助。此外,Cleantex 2800的"Smartdry"功能还确保在灰化后均匀干燥晶圆,从而获得高质量的效果。Cleantex 2800的占地面积很小，在其加工鼓中可容纳多达五十个晶圆。该设备具有直观的触摸屏界面,便于操作。它的操作基于用户友好的触摸屏菜单,使用户能够选择所需的参数集并快速启动进程。该模型还支持自动化流程和编程。为方便起见,Cleantex 2800具有数据记录功能,并提供了一个用于惰性气体输送的真空端口。Cleantex 2800的耐用性长,维护成本低,使其成为最终用户和工艺工程师的绝佳选择。它的低运营成本和高能效运行是额外的优势，它处理各种材料的能力也是如此。高度的定制还可以让用户根据自己的特定蚀刻和ashing要求调整设备。Cleantex 2800是一款高精度的蚀刻器/asher,具有多种功能和选项,可提供一致、经济高效的结果。