二手 SINGULUS / STANGL Singular XP ISE #293752400 待售
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ID: 293752400
优质的: 2015
ICP-PECVD System
IR Heater station
(2) EDWARDS iXH1820 Pumps with power supply
Profibus D397-52-880 module
EDWARDS iXL120 Turbomolecular pump
(8) EDWARDS STP-iX3006C Turbomolecular pumps
(4) EDWARDS STP-1003C Turbomolecular pumps
SIEMENS PLC
FESTO Pneumatics
HAMLET Valve
BROOKS AUTOMATION Mass Flow Controller (MFC)
(20) MITSUBISHI MR-J3 Servo amplifiers
(4) ADVANCED ENERGY Apex 5708009 HF Generators
Sensors
LENZE Servomotors
2015 vintage.
SINGULUS/STANGL Singular XP ISE是一款尖端蚀刻/asher设备,旨在满足半导体行业苛刻的要求。这种高度先进的工具能够在硅片上提供精确、均匀的蚀刻/灰化工艺,提供高通量和卓越的工艺控制。STANGL Singular XP ISE凭借其创新的技术和强大的设计,提供卓越的性能和可靠性,使其成为寻求在生产过程中实现最高生产效率和效率的半导体制造商的理想解决方桉。SINGULUS Singular XP ISE具有最先进的工艺室,旨在优化蚀刻/灰化过程以获得最佳性能和可重复性。腔室配备了先进的等离子体生成技术,确保离子和自由基在晶圆表面的均匀分布,从而产生一致的蚀刻/灰化速率和均匀性。这种精度和控制水平对于实现功能尺寸较小、密度较高的先进半导体器件的严格工艺要求至关重要。Singular XP ISE的主要功能之一是其多用途的处理功能,它允许广泛的蚀刻/灰化应用程序。该系统支持各种工艺气体,包括用于硅蚀刻的氟基化学和用于有机和无机灰化的氧基化学。这种灵活性使半导体制造商能够定制蚀刻/灰化工艺,以满足其设备设计的特定要求,从而确保最佳性能和产量。SINGULUS/STANGL Singular XP ISE除了具有先进的工艺功能外,还配备了一系列智能功能,可提高工作效率和易用性。该装置专为高吞吐量操作而设计,具有快速抽水和清除周期,可最大程度地减少进程运行之间的停机时间。它还具有先进的端点检测技术,能够精确控制蚀刻/灰化过程,确保最佳结果,并降低过度蚀刻或灰化的风险。STANGL Singular XP ISE按照质量和可靠性的最高标准制造,坚固耐用的结构可承受半导体制造环境的严酷考验。该机器是为长期性能和低拥有成本而设计的,具有易于更换的组件和最低限度的维护要求。这确保了半导体制造商能够依靠SINGULUS Singular XP ISE实现一致可靠的性能,减少停机时间并最大化生产率。总体而言,Singular XP ISE是一款尖端的蚀刻器/asher工具,为半导体制造应用程序提供卓越的性能、可靠性和多功能性。SINGULUS/STANGL Singular XP ISE凭借其先进的技术、精确的工艺控制和智能特性,使半导体制造商能够在生产过程中实现高产率和高质量,满足半导体行业的苛刻要求,并在当今快节奏半导体市场上保持领先地位。
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