二手 SINGULUS / STANGL Singular #9076188 待售

SINGULUS/STANGL Singular是一种完全自动化的蚀刻器/asher,旨在满足最严格的蚀刻和灰化要求。该机结合了CVD、反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体辅助蚀刻（PAE）等先进技术，用于快速、精确的蚀刻和灰化工艺。STANGL Singular先进的设计特点使其能够处理广泛的材料，如金属、陶瓷、半导体和介电，以及从纳米到微米的特征尺寸。SINGULUS Singular提供了广泛的蚀刻和灰化功能-包括晶圆级层的处理、深蚀刻的双层结构和表面阵列应用-为制造商提供了最灵活的生产解决方桉。这种多功能性不仅是通过其广泛的流程功能实现的，而且是通过用户能够在一次运行中快速、经济高效地调整各种参数的方式实现的。例如，用户可以快速准确地控制压力、温度、轮廓和层厚等变量，以优化每个蚀刻和灰化过程的结果。除了业界领先的灵活性和准确性之外,Singular还为用户提供了快速加载和易于使用的机器人模块的无与伦比的便利,该模块可方便晶圆的加载和卸载,并有助于最大限度地减少生产和过程周期中的任何停机时间。此外，这种创新的机械有可定制的尺寸，以满足各种空间、重量和高度限制，从而允许它在任何洁净室或生产地板上使用，而无需修改。总体而言,SINGULUS/STANGL Singular是业界领先的蚀刻器和asher,它为用户提供了一系列高度先进的过程功能,这些功能易于设置和操作,以及优化任何蚀刻和研磨过程所需的灵活性和便利,同时保持生产车间的高效运行。