二手 SOLAR SEMI ENGINEERING E6710 #293649341 待售
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ID: 293649341
Porous silicon etching system
Full-area porous Si layer formation
Single wafer processing with fast cycle time (10 wafers per hour)
Wafer: Round, 6" / Square, 5"
Internal circulation of etchant
Upper controls panels
Laminar air flow wafer processing area
Wet plenum area
Sample station
Fan and HEPA filter housing.
SOLAR SEMI ENGINEERING E6710是一种强大的蚀刻/灰化工艺,可实现精确且可重复的表面处理。这台机器是标准蚀刻/灰化工艺的高级版本,是对包括金属、塑料、聚合物和复合材料在内的一系列表面应用保护性涂层的标准方法。这种先进的蚀刻/灰化工艺专为需要精密表面的应用而设计,这些精密表面需要经过干燥蚀刻和灰化,并具有卓越的一致性。E6710具有各种可调参数,可用于创建各种特定于所加工材料的工艺配方。机器的控制系统允许用户定制工艺参数,以达到所需的表面光洁度和化学成分。控制系统还包括一组安全功能,这些功能可以在发生异常过程更改时关闭机器。SOLAR SEMI ENGINEERING E6710利用高强度紫外线(UV)辐射聚焦在正在加工的材料上。这种强烈的紫外线照射大大加速了光化学反应,导致化学键断裂,随后从表面被去除。通过蚀刻/灰分工艺除去的化合物通常是硫化合物或碳氢化合物,它们通常存在于各种材料的表面。另外,强烈的紫外线可用于改变表面化学,如产生疏水性(排斥水)和亲水性(吸引水)表面。E6710的有效工艺范围约为0.1-400 mm,与各种材料的工艺兼容性高达10mm。此外,该机还配备了喷嘴系统,可精确控制等离子体流及其方向。这样可以进行更精确和一致的蚀刻/灰化操作。机器还使用了一个封闭的等离子体腔室,这有助于保护操作员免受有害的UVC射线的照射。这个腔室还有助于控制机器发出的紫外线。SOLAR SEMI ENGINEERING E6710是寻找功能强大的蚀刻/灰化平台的用户的绝佳选择。这台机器提供精确和可重复的表面处理,可以产生各种各样的表面处理。此外,它的安全特性和封闭的等离子体腔室使其成为用户寻找可靠和安全的蚀刻/灰化机的理想选择。
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