二手 SORONA SIE-3102 #9366568 待售

SORONA SIE-3102是一种先进的蚀刻和灰化机，能够为各种基材提供精确的蚀刻和灰化。本机使用水平和垂直对齐的蚀刻台，以确保精确定位和最佳蚀刻结果。SIE-3102有一个内置的干式清洗系统，它可以清除碎屑，以提供清洁的真空蚀刻和灰化环境。蚀刻台能够提供直径最大为5英寸的内部蚀刻区域,蚀刻速率范围从0.005 mils/min到20 mils/min。SORONA SIE-3102有一个真空室，利用离子泵送达到-28 torr的真空水平，用于蚀刻大型基板而不受污染或损坏。该机还具有类似反应性离子蚀刻的同时热氧化硅去除能力，可以达到高达1300 °C的温度。SIE-3102利用磁场提供高选择性和高镜像清晰度的电子束和离子束蚀刻或灰化。这台机器能够蚀刻到高达0.5um的深度，适用于高长宽比物体。它还具有高达20 nm/min的热氧化物去除速率，以及高达10 nm/min的晶圆背面钝化速率。蚀刻/灰化是在用户友好且简单的多轴控制环境下执行的。SORONA SIE-3102还具有内置的图像处理软件,使用户能够调整蚀刻参数以获得最准确的结果。借助该软件，用户可以轻松生成高清晰度和保真度的蚀刻图样。此外，机器还有一个实时监控系统，允许用户观察蚀刻过程，同时做出蚀刻过程中所需的任何调整。总体而言，SIE-3102是一种先进的蚀刻和灰化机，可以为各种基材提供精确和精确的蚀刻。这台机器用户友好、直截了当，还具有可调真空系统、热氧化物去除能力和图像处理软件，可获得准确的结果。SORONA SIE-3102适用于大小形状各异的基板，可用于创建高保真度的高清图像。