二手 SPP MUC 21-098 #9239652 待售

SPP MUC 21-098是一种专用设备,主要用于半导体工业中的蚀刻和/或灰化。它具有三维腔室结构，处理体积大，能够处理直径达6英寸的样品，大大提高了吞吐能力。蚀刻器/asher提供了许多自动化选项,例如计算机控制的处理以及机器人技术和数据管理的开放式体系结构。它配备了三源两级射频发生器，频率范围从13.56 MHz到50 MHz，并且能够进行优化的工艺以产生可重复的结果。等离子体源设计用于同时处理ICP和电容耦合模式的操作。这些气体由石英管感应耦合等离子体（ICP）特性加热，对中央杆和限制环的功率有独立的控制，允许优化过程监测。灰化过程依赖于基于射频的蚀刻源，以及磁力驱动的气体分配系统，用于整个腔室的均匀基板蚀刻。自动快门选项进一步确保了精度和可重复性,能够在需要时在四个不同方向之间切换。MUC 21-098还结合了多模式超音速源，以实现更高的蚀刻速率和特征精确的轮廓控制。超音速喷嘴以三种模式运行，根据工艺要求量身定制，允许清洁、光滑的墙壁和圆形特征墙。SPP MUC 21-098另外还支持可选的样品提取，配有可支持高达25毫米样品高度的精密级移动装置。样品有助于确保均匀蚀刻和均匀的互连线。最后，MUC 21-098有一个内置的安全系统，由一个压力联锁门和一个接近传感器组成。这样可以确保蚀刻器/asher始终安全运行。