二手 SPPT / SPTS CPX-APS #293648886 待售

SPPT/SPPT/SPTS CPX-APS是一种高级蚀刻器/asher，用于硅蚀刻、SILC蚀刻、钨蚀刻、铝蚀刻等工艺。此设备非常适合大多数高级蚀刻工艺,包括高长宽比和高选择性工艺。它使用射频（RF）和直流电（DC）电源的独特组合运行，从而实现更大的过程控制和精度。SPPT CPX-APS是一个完全集成的、坚固的蚀刻室系统,设计用于单个单元中的蚀刻和灰化薄膜沉积（TFD）工艺。它配备了一个用户友好的触摸屏Human Machine Interface （HMI）控件,可以在单个进程运行中轻松编写多个蚀刻/灰分序列的程序。这种蚀刻器/灰化器提供了广泛的工艺参数，包括室温最高250*C，蚀刻/灰分压力最高187 mTorr，以及合用的氙/氧化学方法，以实现最佳工艺性能。SPTS CPX-APS为IC级制造提供了出色的工艺一致性、可重复性和速度。该蚀刻器具有200 nm氧化速率调平单元,可在不牺牲速度的情况下对特征进行非常均匀的蚀刻。该机还能进行深沟蚀刻，长宽比高达10：1及更高。此外,还具有经过优化的过程控制的3D蚀刻/剖析功能,可产生非常高的过程重复性和精确度,并将IC降级降至最低。CPX-APS旨在满足IC的严格安全要求。该工具具有创新的安全保护资产,可准确检测流程故障并提供实时通知。它还具有一个集成的真空互锁模型，通过在过程过度蚀刻或放气时自动关闭腔室来防止不可擦除的IC损坏。SPPT/SPTS CPX-APS还配备了多种高级诊断工具，包括实时诊断、机器和过程状态诊断以及过程数据。设备的先进特性和能力使其非常适合大批量的IC生产和极端的工艺要求。此外，边缘隔离控制系统的特点可以减少边缘的缓慢移动，提供额外的边缘保护，提高设备的可靠性。总之,SPPT CPX-APS是一种功能强大且用途广泛的蚀刻器/Asher,具有先进的蚀刻和灰化功能,具有卓越的工艺控制功能。它具有先进的安全功能和广泛的用户友好功能,非常适合IC制造。该装置提供卓越的工艺重复性和准确性，以及优异的工艺性能和均匀性。