二手 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648861 待售

SPPT/SPTS VPX Pegasus是一种先进的蚀刻和灰化设备，用于高分辨率光刻加工。由SPIC Technologies开发，这种装置以非常精确可靠的方式，用于蚀刻和灰分材料，如硅、SiO2和聚合物。SPPT VPX Pegasus附有一系列特色，包括一个整体式、12管定位级、可靠的石英真空室、多区氧化和高分辨率电容提取激光干涉仪（CELIF）。所有这些组件都有助于确保蚀刻和灰化材料时的准确性和质量。12管定位阶段有助于确保所有蚀刻和粉刷材料在加工前都完全对齐。这是通过各种调整参数完成的，包括位置分辨率和精度、加速度、速度和线性。另一方面，石英真空室为蚀刻和灰化过程提供了可靠、安全的环境。它由固体基平台和不锈钢墙组成，防止任何有害蒸气进入工作区。此外，石英真空室还配备了自动真空系统和充满石墨的内部，确保了极长的寿命。高端CELIF激光干涉仪，用于精确的高分辨率电容提取。其先进的扫描能力能够测量过程中的表面污染，同时提供测量反馈。这样可以确保在蚀刻和灰化过程中达到并保持最高精度。最后，SPTS VPX飞马单元还能够通过其专有的多区氧化技术进行多区氧化。利用这一技术，用户可以在各种类型的基材和材料上应用多种热氧化工艺，从而获得所需的层厚度和蚀刻/灰化结果。总体而言,VPX飞马是一个强大而可靠的蚀刻和灰化机.通过一系列的特点和尖端技术，它能够提供精确和一致的结果。从蚀刻，到灰化甚至多区氧化，SPPT/SPTS VPX Pegasus保证把任何蚀刻和灰化工程变成一个成功的项目。