二手 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648863 待售

SPPT/SPTS VPX Pegasus是由SPPT Technologies开发的蚀刻器/asher，SPPT Technologies是半导体及相关行业先进制造解决方桉的领先创新者。这种通用的蚀刻器/灰化器设计用于执行氧化、金属蚀刻、沉积和平面化过程,最大程度地减少基板损坏和工艺变化,同时确保多种基板的质量一致。SPPT VPX Pegasus利用微定位器，允许用户精确控制蚀刻、氧化和平面化的速率，同时在过程中保持均匀性和可重复性。此功能允许快速准确的过程校准,提高吞吐量和准确性。此外，飞马的创新真空设备和腔室设计有助于减少污染并确保最佳等离子体条件，从而实现卓越的蚀刻和氧化效果。SPTS Pegasus具有强大但易于使用的控制系统,可实现精确的过程控制和单元监控。用户友好的界面可确保快速准确的流程参数,同时方便地访问高级计算机和流程设置。这样可以实现可重复性和改进的过程优化。为了提高质量和可靠性,SPPT/SPTS Pegasus还集成了安全机制,包括自动过程安全检查以及可选的安全、安全和程序警报。为确保最高安全标准，工具对所有安全状况进行监控，并自动检测任何缺陷以采取纠正措施。SPPT Pegasus是一种多用途蚀刻器/asher，能够进行湿和干蚀刻、氧化和沉积以及平面化过程。凭借其广泛的工艺能力，用户能够在各种基材和材料上创建复杂的结构。SPTS Pegasus还设计为可配置,这意味着用户可以根据自己的特定需求定制资产。这使得它成为那些需要可靠和高效的工艺来蚀刻和平面化各种材料和基材的人的理想选择。