二手 SPPT / SPTS VPX Pegasus #293655827 待售

SPPT/SPTS VPX Pegasus是一款先进的蚀刻和灰化器,旨在在要求最苛刻的工艺中提供最高精度的蚀刻和灰化。飞马采用坚固的工业级部件开发，旨在在半导体制造过程中提供最大性能和可靠性。飞马可以通过一系列的材料如硅、石英、的来蚀刻和作为界面几何形状，以及多种表面处理。SPPT VPX Pegasus可以获得高质量的结果,这是由于它能够精确控制蚀刻过程,以及其高度可重复的结果,这对于在整个制造过程中保持过程一致性至关重要。SPTS VPX Pegasus因其灵活、易于配置的控制系统而设计用于高度自动化的制造环境。蚀刻器能够有效地蚀刻和作为一系列复杂的几何形状,使用户能够获得最高的制造精度。蚀刻器还配备了广泛的蚀刻选项，包括多级蚀刻，因此为特定应用量身定制蚀刻工艺。飞马还提供了可选的涡轮脉冲功能的灵活性,使蚀刻工艺能够针对被蚀刻或粉刷的材料进行优化。飞马能够实现高水平的速度和准确性以及低水平的污染，保持正在制造的设备的完整性。这要归功于在整个蚀刻和灰化过程中监控多个参数的各种集成安全系统，如工艺气体、冷却剂温度、腔室压力和工具的机械对准，从而提供了对敏感部件潜在损坏的保护。VPX Pegasus是要求最高速度、精度和可靠性的要求最苛刻的制造应用程序的理想蚀刻器和asher。它采用了最新的技术和功能,使用户能够获得最高质量的结果,同时还提供了安全可靠的蚀刻和灰化过程。