二手 SPS Plamax #293664085 待售

SPS Plamax是一种用于半导体器件制造工艺的高性能蚀刻和灰化系统。它是一种高温自动蚀刻和灰化装置，旨在方便短期和高温持续灰化的应用。Plamax包括三个主要组件：一个炉子、一个射频发生器和一个RIE工具。该炉的温度范围高达1100 °C，可提供精确控制的快速温度坡道能力。它还包括垂直升力处理，这使得工具可以处理从200毫米到400毫米的各种基板。射频发电机提供可变功率输出，使其能够蚀刻和灰化厚材料。射频发生器还具有从Ar/O2到SF6/O2的广泛的加工气体溷合物，允许对蚀刻和灰化结果进行高度控制。RIE工具提供精确的蚀刻深度控制和平滑的蚀刻和灰度，允许更高的长宽比和更好的长宽控制。它还有一个自动化的过程控制系统，允许高精度、可重复的过程以及最大程度的可重复性和一致性。SPS Plamax能够进行批处理和单晶圆配置。自动卡带-卡带-卡带传输允许无缝晶片处理和快速操作。特殊模块可用于控制基板位置，从而提供精确的对准，并最大限度地减少晶圆结构不均匀的影响。Plamax专为提供高产、高精度、快速蚀刻和灰化加工而设计。其卓越的工艺控制能力和可靠的系统性能使其成为设备制造的首选。SPS Plamax具有通用的工艺功能,可用于在各种基材上对各种厚度的材料进行蚀刻和灰化。