二手 SPTS Delta FxP #293800451 待售

SPTS Delta FxP是一款先进的等离子体蚀刻器/asher，用于半导体行业的精密和高性能蚀刻和灰化工艺。此通用工具旨在满足先进半导体制造的苛刻要求,为微电子、MEMS和其他新兴技术提供了一系列工艺能力。Delta FxP具有双频电源,具有射频（RF）和微波（MW）两种功能,可增强过程控制和灵活性。这种双频功率功能使设备能够实现更广泛的工艺条件,从而在各种基材材料和尺寸上实现更好的蚀刻和灰分均匀性。SPTS Delta FxP的主要特点之一是其先进的工艺室设计，针对高通量和低颗粒物生成进行了优化。腔室配有气体注入系统、射频偏置和温度控制的组合，以确保对蚀刻和灰化过程的精确控制。此设计允许一致的过程可重复性和性能,这对于大容量半导体制造至关重要。Delta FxP还具有先进的气体输送系统，能够精确控制气体流量和溷合物。这一单元对于实现所需的工艺化学和性能至关重要，因为不同的气体和气体溷合物用于蚀刻或灰分特定材料，选择性和均匀性都很高。机器配备了先进的端点检测功能，允许实时监控蚀刻和灰化过程。这使工具能够精确控制工艺端点,确保去除所需的物料量,而不会过度蚀刻或损坏底层。端点检测资产有助于提高过程控制和可重复性,从而提高产量和设备性能。SPTS Delta FxP还配备了能容纳各种尺寸和厚度的晶片的高性能基板处理模型。该设备可以同时处理标准和高度敏感的基板，为不同的工艺应用提供所需的灵活性。基板处理系统旨在最大限度地减少颗粒的产生，并确保在蚀刻和灰化过程中基板的正确对准和接触。总体而言，Delta FxP是一个最先进的等离子体蚀刻器/asher单元，为半导体制造提供先进的功能。其双频电源、先进的工艺室设计、精确的气体输送机、端点检测能力以及基板处理工具，使其成为大批量生产和研究环境的理想工具。SPTS Delta FxP具有卓越的工艺控制和性能,是寻求以高精度和可靠性实现先进半导体器件制造的公司的宝贵资产。