二手 SPTS Multiplex ASE ICP #9158122 待售

SPTS Multiplex ASE ICP是SPTS Technologies Ltd提供的Multiplex ASE系列产品的等离子体蚀刻器/灰化器。SPTS总部设在欧洲，在蚀刻和沉积行业积累了多年的专业知识，为等离子体蚀刻和半导体基板灰化提供了一套功能齐全的工具。多路复用ASE ICP是一种电感耦合等离子体（ICP） asher/etcher,具有独特的紧凑设计,采用了最新的单室RF和ICP源技术。该产品能够在高达400摄氏度的工艺温度下在多个基板上同时进行复杂的蚀刻/灰分工艺。该工具还配备了专有的灭火除尘设备和致癌系统，旨在最大限度地减少水凝结，并提供优越的灰化工艺。SPTS Multiplex ASE ICP是用于2D和3D设备结构以及超浅结（USJ）过程的理想工具。其ICP源具有出色的蚀刻/灰度均匀性和过程可重复性,可实现高吞吐量和可重复结果。射频源具有自动调谐单元,可消除调谐和频率优化时间。这台机器还确保了稳定和一致的蚀刻/灰化，同时最大限度地减少了底物对射频能量的暴露。多路复用ASE ICP的ICP源和RF源可以精确配置,以便优化难以蚀刻/灰化的过程。这套工具还具有先进的压力和温度控制功能，使其能够对基材特性和工艺均匀性进行精确的工艺控制。SPTS Multiplex ASE ICP具有广泛的功能,可提供广泛的蚀刻/灰烬应用。它具有高密度的卡盘顶部涂层，能够进行高密度的ICCD蚀刻工艺，并且该工具还能够蚀刻/灰化一些最具挑战性的金属，如钨、TiN、氧化铜、Mo和Co.此高级工具集还提供了灵活匹配的处理时间,允许用户根据自己的特定需求自定义其处理工作流。总体而言,Multiplex ASE ICP是一个功能强大、紧凑且用途广泛的工具集,它使用户能够同时在多个基板上蚀刻/清除各种不同的基板材料并执行复杂的蚀刻过程。其先进的工艺控制系统和精确的蚀刻参数使其成为2D和3D设备结构以及超浅结（USJ）工艺的理想工具。