二手 SPTS MVD150 #9280194 待售

SPTS MVD150是为包括MEMS、光子和3D集成制造在内的一系列应用而设计的高级蚀刻和灰化设备。在25 MHz和130 MHz的频率下使用射频（RF）技术，在从-50˚C到1000˚C的各种温度控制过程温度范围内，对图样材料进行高度选择性和精确的去除。该系统的主要特点包括无与伦比的300 x 300 x 150 mm腔室尺寸、高达1000 slm的高气流真空单元、用于精确流量控制的磁流和质量流控制器，以及用于长期加工的远程基板技术。该机提供高级过程控制,包括计算机对过程参数的控制.它能够通过一系列传感器和监视器持续反馈和监控,确保严格控制临界晶圆温度、压力和定位。此外，多种工艺控制参数，如腔室压力、射频功率和蚀刻深度，都可以进行编程和优化，从而产生优异的效果。该工具还配备了一套蚀刻和灰化化学输送系统，提供了选择精密工程蚀刻和灰化所需的化学物质的通用能力。它经过了优化，可以与广泛的工艺化学方法一起工作，以优化特定材料组合的工艺。再者，该资产经过测试合格，符合广泛的行业标准，使其能够满足严格的质量和安全要求。它设计用于最佳可重复性、清洁性和低拥有成本,并具有ANSI/RIA NIST-2011、ISO 9001：2015、符合太平洋理事会会议厅（PCC）和符合SEMI S2的认证。它的低压模式（LPV）允许在灰化过程中一致和精确的操作，有助于减少过程和统计变化。最后，该模型还具有生产规模蚀刻和灰化的一系列支持，包括协议库、远程监控设备和自动装卸系统。MVD150蚀刻系统是工程师和制造商的理想选择,他们希望找到一个能处理各种材料和工艺的强大而精确的蚀刻和灰化装置。它提供了一种尖端的蚀刻/灰分生产方法,允许一致和可重复的结果,同时节省时间、资源和金钱。