二手 SPTS Omega FXP #9186561 待售
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已售出
ID: 9186561
晶圆大小: 8"
优质的: 2012
Rapier plasma etch system, 8"
(3) Electronics control cabinets
(4) Main system chillers
(5) Upgrade kits, 8"
(2) DSI Rapier process module
Wafer transport module: fxP
Multi chamber system
Standard system features:
(4) Color alarm towers
Bracket-mounted high resolution color
TFT Monitor with keyboard
Thru wall panel
PC104 Control architecture
Devicenet control module:
Pendulum valve
MFCs
Pneumatics
Fore-line convectron
Thermocouples
Electronics rack
Cable: 10 m
Electronics cabinet
CE Compliant
SEMI -S2 Compliant
(2) System manuals on CD
Conversion kit, 8"
Rear control station
fxP Transport module:
(8) Port wafer transport modules
Brooks MagnaTran 7 series robot
(2) Fixed vacuum cassettes
Dynamic wafer aligner
DSi Rapier process module:
Bosch process deep Si module
Rapier plasma source
Module envelope contains
Process control hardware
Control unit PC104
AE Apex RF generator:
Primary source
Secondary source
Bias - HF
Bias - LF
RF Bias match
Top power fixed match
DC Coil supply
Heated VAT pendulum valve
Electro-static chuck
PSU / He back-pressure control
Heated lower chamber
DSi Upper chamber / Foreline
Extracted surface mount gas boxes:
Primary
Secondary
ALCATEL ATH2300MT turbo pump
Automated He flow endpoint
Turbo by-pass for module roughing
Chamber capacitance manometer (1.0 torr)
Foreline mini-capacitance manometer
Wafer edge protection ring
Perfluoroelastomer seals
Options:
Claritas optical endpoint system
Ancillary equipment:
Re-circulating chiller (Bettatech CU700)
Chills platen
ADIXEN ADP122LM
ADIXEN ADS602H
THERMO Flex 24000 NESLAB chiller
Chills pumps
Includes:
Main chamber
Handler
Control cabinet
Computer holder
(2) Pumps
Spare parts
2012 vintage.
SPTS Omega FXP是为高批量生产和可靠性而设计的蚀刻器或asher。该设备具有许多独特的特点，使其能够同时准确地处理多个过程步骤。该系统基于SPTS Technologies获得专利的350 mm晶片负载锁定交换机制,可实现最多三个并行的过程步骤,以实现快速吞吐量。腔室的设计和工程确保了一个可靠的过程，最小的停机时间和最小的人工干预。该装置可配备一系列选项，如化学输送系统、高RIO、屏蔽电镀以及用于定制应用的附加配置。SPTS OMEGA FXP利用高分辨率圈速控制和闭环端点监控，以确保准确和可重复的处理。它配备了各种气体供应和控制选项，以支持需要精确气体控制的蚀刻化学和蚀刻工艺。该机还具有专有的过程喷射监视器，它提供了关于压力、温度和蚀刻速率的实时数据。此数据可确保流程参数在所需的范围内,并可用于调整配方和确保一致且可重复的流程结果。该工具的集成硬件测试和评估（HTE）软件允许在生产前对可重复的过程参数进行高效的自动化测试。资产连接到安全网络,以监控性能并确保操作完整性。数据可以与其他系统共享，以进行实时过程控制和配方调整。为了提高工艺性能和质量，欧米茄FXP可以与各种自动装卸系统集成。这些系统提供自动晶片加载、卸载和传输，提高产量和吞吐量。该模型还配备了一系列先进的自动设备控制功能，用于增强过程控制、报警管理和配方执行。总体而言,OMEGA FXP是一款高级蚀刻器/asher,旨在满足当今大批量生产需求,重点是可靠且可重复的工艺。SPTS Omega FXP具有先进的晶片负载锁交换机制、容错设计和多种工艺配置,是各种蚀刻工艺的绝佳选择。
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