二手 SPTS PRIMAXX #293810530 待售

SPTS Primaxx是一种精密的干蚀刻和灰化解决方桉,适用于要求最苛刻的微加工要求。Primaxx利用可靠的底物旋转元件对蚀刻化学和底物温度进行精确控制，从而产生一贯优质的产品。通过添加低应力晶片支架,SPTS Primaxx可以加工直径不超过200 mm的硅和复合材料。Primaxx基于最新的硬件和软件构建,可提供广泛的流程功能和灵活性。独特的流程控制菜单允许用户轻松地选择一个独特的配方，并在多个晶圆上重复。SPTS Primaxx具有先进的自动循环泵管理功能,无需手动补充蚀刻化学品。Primaxx设计用于研究和生产设施中的高通量生产。该系统有广泛的蚀刻选择配方，为高细节图桉创造了必要条件。蚀刻选择技术还消除了频繁洗涤的需要，确保提高了长期蚀刻精度。SPTS Primaxx还包括一个开放式体系结构、基于PC的过程控制系统,其中包含一整套用于设置蚀刻和清洁参数的过程和诊断工具。Primaxx是一款用途广泛、功能强大的蚀刻器/蚀刻器,具有专业人员所需的所有功能,可确保严格的性能-包括可调节的间隙流形成、可调节的气流控制和可调节的压力控制设置-同时最大限度地降低消耗成本和最大化晶圆操作。它还与各种导引车和晶圆载体兼容，定期维护确保SPTS Primaxx符合最严格的标准。