二手 SPTS PRIMAXX #293811099 待售

SPTS Primaxx是一种高级Etch/Ash工艺工具,它在单个平台中提供多个晶圆处理功能。其创新的设计和先进的技术允许较低的总拥有成本，使其成为半导体行业的理想工艺工具。该设备具有独特的低功率等离子体蚀刻/灰分以及高通量无功离子蚀刻/灰分（RIE）工艺。二合一系统具有用于蚀刻和灰操作的往复式双向电子束。它能够处理多达200毫米的晶圆，等离子体均匀度为99.98%。Primaxx还具有快速高效的加热单元，带有芳香复合薄膜加热器和电子束加热元件。该机器能够在不到10分钟的时间内将晶片加热至400 °C。这使得它能够以更高的蚀刻速率和更高的沉积速率制造出均匀的薄膜，从而提高工艺性能。SPTS Primaxx可以加工多种材料，包括但不限于硅、玻璃、砷化​​和铵磷化物。它还可以处理MEMS、LED和光电元件等特种设备。Primaxx的运动控制工具是为高精度蚀刻和灰操作而设计的。它有一个集成的联锁机制，允许它在一个晶圆上进行多次操作，并有精确的定位和对齐。SPTS Primaxx运行完全自动化的软件控制过程。它能够进行单通道蚀刻/灰分操作以实现高吞吐量。这使得它既适合研发应用，也适合生产应用，让用户快速、精确地处理各种材料。Primaxx提供了广泛的流程选项,并且可以针对特定的应用程序需求进行定制。这包括蚀刻和灰分,蚀刻和沉积,或两者的组合.它还具有一个自动校准资产，允许晶片到晶片过程的一致性。可以远程管理和监视自动化模型。SPTS Primaxx是一款先进的多功能蚀刻/灰烬工具,具有出色的性价比。适用于多种应用，从量产到探索性研究。其强大的功能和自动化的过程控制使得它成为半导体行业的理想选择。