二手 SPTS Sigma Fx P300 #9289687 待售
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ID: 9289687
优质的: 2015
System
(2) HSE
Etch chamber
(3) Process chambers
MWD Degas chamber
MWD Degas chamber height: 2.5m
(2) Transport chambers / Load lock chamber
TM Chamber
OTF Sensor
(3) EFEM Load ports
Dual blade for high throughput
Labyrinth chambers
(4) Dry pumps:
iGx 600N
(3) iGx 100L
2015 vintage.
SPTS Sigma Fx P300是为半导体加工和精确的纳米技术应用而设计的蚀刻器和asher设备。它是一种强大的电子束蒸发器，具有独立精确的光束位置，用于蚀刻、溅射和其他过程。其特点包括具有卷积滤波器和模式识别的高分辨率图像识别系统。P300采用两部分腔室设计，具有独特的真空包络式结构，以确保真空完整性。这种腔室结构还通过在真空和清洁工作环境之间提供明确的分隔来减少泵送损耗和减少颗粒捕获。Sigma Fx P 300采用多源设计,可同时执行多个沉积和蚀刻过程。这个单元还有一个自动化的舞台和多个基板接口，以实现广泛的配置。可以使用转运机、机器人臂和输送机等组件来实现大规模的生产环境。P300工具用于处理各种任务，如金属化和介电层的沉积和蚀刻、介电结构的创建和沉积，以及高频应用中结构阵列的3D图样化。它具有真空资产，能够管理从超高真空到大气的各种过程压力。此外，P300在用户控制下具有基于蒙特卡洛的曲线拟合算法，便于调整不同过程的配方。设计工具（如CAD和Physics属性）的界面还可以很好地控制过程配方的制造。该模型还具有温度和湿度控制功能，可用于Class1洁净环境。其综合报警设备和维护跟踪提供预防性维护功能，并在必要时引发报警。SPTS Sigma Fx P300是一款功能强大、可靠的蚀刻器和asher,适用于纳米技术应用,其综合特性使其成为半导体加工的绝佳选择。
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