二手 SPTS Sigma FxP #9353219 待售

SPTS Sigma FxP是一款先进的蚀刻器/asher设备,旨在实现高精度、高通量的蚀刻和各种材料的蚀刻。该系统结合了高水平性能和低拥有成本，使其成为研究和工业用途的理想选择。该设备采用脉冲等离子体技术，由三个800W 13.56MHz源磁体组成，在各种材料和晶圆尺寸上提供精确、可重复的蚀刻和灰化结果。该机器由计算机控制的过程定序器控制，可以方便地定制蚀刻和灰度配方。该工具有一个板载真空卡盘，可用于处理多达4"、8"或12"晶片。Sigma FxP具有广泛的高级功能,包括一个高分辨率的光学视图端口以方便配方设置和监视,以及一个用于二次监视蚀刻和灰化过程的2 ″视图端口。该资产还包括一个自动晶片加载模型，该模型可以在工艺步骤之间自动加载晶片，从而节省时间和提高效率。SPTS Sigma FxP设备还提供了足够的灵活性,可以修改现有配方并创建符合用户需求的自定义配方。这可以通过系统的板载配方数据库来实现，该数据库存储所有蚀刻和灰化配方和参数。此外，该单位拥有较低的拥有成本，使用几个小时后即可获得巨大成果。总体而言,Sigma FxP蚀刻器和asher机器为高级、精确的蚀刻和灰化需求提供了一个绝佳的解决方桉,拥有成本最低,效果极佳。此工具是研究和工业环境的理想选择,因为它可以轻松定制以满足特定需求。