二手 SPTS Sigma #293751255 待售
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SPTS Sigma是一种蚀刻器/asher,设计用于在先进的微制造工艺中从晶片中去除光刻胶和其他层材料。它的设计方式使其能够方便地在工件和蚀刻器之间进行转移。Sigma是一种高精度机器,其能力包括一个为产生极低粒子而设计的加工室;高工艺速度;和优越的蚀刻速率控制。SPTS Sigma蚀刻器的主要特点是其集成的真空/等离子体设备,在一个单元中兼具蚀刻和灰化功能。这意味着它能够满足多个进程流路径,从而实现高效的内联处理。此外,该系统还包括自动真空开关,可根据工件优化工艺并确保一致的蚀刻结果。为了进行控制,Sigma配备了高级软件,使用户能够准确编程所需蚀刻所需的数量、功能和参数。它可用于手动和全自动过程。在安全和维护方面,SPTS Sigma有一系列措施可确保用户安全。其中包括一个联锁装置,该装置防止机器在蚀刻门打开时操作,以及水箱压力控制机的附加功能,该装置有助于控制潜在的漏水。此外,Sigma还可提供可靠的性能,并提供最低限度的预防和诊断维护。总体而言,SPTS Sigma是一款功能强大、经济实惠的蚀刻和灰化工具,具有一系列功能,旨在实现精确的结果、安全性和可靠性。它非常适合用于微制造过程,对于那些希望将其过程提高到最高标准的人来说,它是一个绝佳的选择。
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