二手 SPTS VPX Pegasus #9051077 待售
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已售出
ID: 9051077
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
ICP (DRIE) Etcher, 8"
Configured for Deep Silicon Etching
Etch Rate: 25um/min
(1) Chamber: ICP, Pegasus
Cluster core: BROOKS MX400
Vacuum Cassette Station
Cassette to cassette auto-loading system
Windows Software control PC
PLC Based Control System
Single Vacuumm Cassette Load-Lock & Cluster Core
Central 4-port cluster core with Brooks Robot
Vacuum Cassette Handler: Brooks VCE5
Robot Arm Adapter: Brooks for 1x200mm substrates
Chuck: 8" TD-ESC (Thick Dielectric Electrostatic Chuck)
Turbo Pump: Leybold MAG2000CT
Ramped Platen Controller
Vacuum Pump: Edwards iQDP80 with Blower
RF Generators: MKS 6500W (13.56MHz) + 300/30W (13.56MHz) + LF5 500W (380KHz)
Pro Electrostatic Electrode: -20ºC to +70ºC
(4) Cartridge Heaters: Watlow, 700W, for Chamber Heating
Cleanroom Panel: (4) color Light Tower and Audible Alerts
Chiller for Coil: SMS Thermo HRZ001 - L2 - DY
Chiller for Platen: SMS Thermo
HRZ002 - W - D- Platen Chiller Temp Monitoring
Platen Chiller Temp Monitoring
Includes High Reliability Upgrade
Offers the most advanced technology for DRIE of Silicon
Deep Silicon Trench Package
Switched SOI process upgrade
Smooth Sidewall Package including digital MFCs mounted on source
Gas configuration:
C4F8 @ 400 SCCM
SF6 @ 1200 SCCM
O2 @ 200 SCCM
Ar @ 200 SCCM
N2 @ 200 SCCM
2006 vintage.
SPTS VPX Pegasus是一款全自动蚀刻器/asher，为直径达200 mm的深层CD（DCB）和硅片、MEMS和其他基板的蚀刻/灰化提供批处理能力。是先进蚀刻、等离子体灰化、化学氧化物剥离的先进解决方桉。VPX飞马配有两个加工室，一个蚀刻室和一个Ashing室。蚀刻室能够处理功率高达2500瓦的复杂蚀刻配方。先进的蚀刻器可实现高选择性比，并具有深CD的集成发生器。Ashing Chamber提供等离子体灰化、气体灰化和化学氧化物剥离的高温。先进的温度控制和较高的热传输率给出了一致和均匀的结果.SPTS VPX Pegasus是一种全自动蚀刻/灰化设备。它提供计算机控制的设置和进程执行,以及内存存储和恢复,以确保一致的进程结果。工厂安装的配方模块允许将蚀刻配方保存到安全配方库中。该系统还采用了热管灰化技术，提供快速循环时间和自动晶片加载装置，便于基板的装卸。机器还包括端点检测、特征识别、粒子检测等高级过程分析。粒子检测功能可直接验证蚀刻/灰化过程的结果。VPX Pegasus专为满足蚀刻和灰化工艺的高端工业应用而设计。它提供高精度、可重复的结果、高吞吐量和强大的处理能力。该工具非常适合用于MEMS、硅、GaAs和其他高级蚀刻和灰化应用的高端基板。
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