二手 SSEC Evergreen Series II 203 #9260711 待售
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ID: 9260711
晶圆大小: 6"
Photoresist wafer etchers, 6"
Chemical storage
Wafer transfer cabinet
Transfer cabinet
Stainless steel
Recirculating chillers
With (2) pumps / LG HPC Coolers.
SSEC Evergreen Series II 203是一款为客户晶片集成处理而设计的蚀刻器/asher。该设备旨在为晶片应用提供经济高效的解决方桉,如图样传输、蚀刻、薄膜沉积和计量,从而实现高通量晶片制造。Series II 203基于可靠耐用的Evergreen Series II平台,另外还具有高精度晶圆处理系统,以确保客户晶圆的无缝高效处理。Series II 203利用直驱技术，达到更高的精度和生产质量。这种高性能、资源效率高的蚀刻器/asher使用精确、精确的集成运动控制和直接驱动技术来提供客户晶片处理的最佳质量和可重复性。此外,该设备还采用了先进的预热气相沉积和蚀刻（PPVE）工艺,能够在客户晶片上产生极薄且密密麻麻的特性。Series II 203配备了可靠的10位机器人控制的晶片处理系统，使得多个晶片的处理成为微风。此外,它还具有一个有效的流板接口管理系统（FPI-MS）,可以对流程活动进行实时的连续监测和分析。此功能可针对特定客户需求快速自动调整晶圆程序。该装置具有耐用的不锈钢腔室，真空额定值高达10+5 torr。此外，它还配有集成的石英窗口和嵌入式传感器，用于温度监测。Series II 203还附带了一系列独家技术，以确保所加工材料的最高质量和统一性。这些技术包括载气、工艺漂移、晶圆批次优化以及先进的数据记录功能。安全方面，II系列203配备了一大堆先进的安全特性。它利用联锁、防撞系统和故障安全机制来保持人员和晶片的安全。最后,该设备采用了一系列用户友好的接口和控件,使设备的操作和维护变得轻松、方便。
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