二手 STS 310PC #9082946 待售

STS 310 PC是按照最高质量标准构建的先进蚀刻和灰化设备,旨在满足领先半导体器件制造商最苛刻的要求。该系统结合了紧凑圆滑的设计和先进的技术，为高产量的基材加工提供了理想的解决方桉。310 PC蚀刻器和asher单元采用独特的模块化设计,可快速轻松安装。这种模块化机器包括最多两个蚀刻室、两个灰化室以及每个室可调节真空设置的功能。刀具组件设计为可移动的，允许快速加载和卸载基板。集成的半导体盒式装载机资产能够处理许多不同尺寸的晶圆和基板。STS 310 PC蚀刻器和asher型号配备了可精确调整的整体真空设备，以满足特定的处理要求。该系统的高级工艺监控提供了高精度的蚀刻和灰化功能。除了先进的技术特性外，该单元还在设计时考虑了用户安全，提供了通过按下按钮即可激活的应急特性。为提高性能和可靠性,310台PC蚀刻机和asher机采用空气监测和洗涤工具,包括在污染物含量超过安全限值时自动关闭腔室。为了优化资产运行和减少维护，该型号配备了自动装载机清洗设备，以及用于晶片盒的防堵塞系统。此外，该系统还设计了低压排气装置，以减少设备周围的颗粒堆积，并通过PLC控制温度控制来确保基板的精确加工。先进的STS 310 PC蚀刻机和asher机设计满足最严格的半导体加工要求，同时遵守行业标准的安全要求。这种精密的工具能够实现最高的精度和可靠性，并且非常适合中高容量的基板加工。