二手 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9139666 待售

STS/CPX Multiplex ASE ICP是一款先进的晶体板蚀刻器，用于半导体和太阳能工业应用。它是一款具有卓越速度和精度的并行处理蚀刻器，旨在在最复杂的蚀刻环境中实现极高的吞吐量。它是一种全自动设备，在一个平台中结合了多个蚀刻过程，并在整个蚀刻过程中提供完整的系统控制。STS Multiplex ASE ICP配有三个蚀刻模块，用于多个晶圆的同时制图。它有一个先进的集成风扇输出模块，用于从主盒式磁带到晶片支架的高精度模式传输，确保快速周转时间和精确蚀刻结果。大的12英寸晶圆容量允许在一个负载中蚀刻多个基板。CPX Multiplex ASE ICP在闭环单元下运行，以确保完整的过程控制。它配备了由气体溷合室、真空源和离子源组成的先进气体控制机器。气体控制工具还应用了非常精确和受控的蚀刻气流，以确保均匀蚀刻。Multiplex ASE ICP还提供极其精确的阵列功能。它拥有集成的图像处理资产，利用高分辨率摄像机准确确定蚀刻位置。该模型还具有先进的源功率控制和沉积控制，具有良好的形状精度和低温变形。此外,该机器还配备了100%的隔离设备,以保护过程敏感材料。其先进的冷却系统使用多个散热器，以确保快速均匀的晶圆冷却。冷回路确保晶圆的快速循环利用,可重复蚀刻复杂形状.总体而言,STS/CPX Multiplex ASE ICP是一款先进可靠的蚀刻器,适用于形状复杂复杂的设计。该机可靠高效,提供高精度蚀刻和全过程控制.凭借其多样的蚀刻能力，可以为各种半导体和太阳能工业应用提供巨大的成果。