二手 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9179213 待售

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ID: 9179213
晶圆大小: 6"
Etcher, 6" Manual load Single wafer load lock Standard rate ASE PFEIFFER TMH 100PC Turbo pump TCP 600 Controller RF Trolley ENI ACG3 300W RF Power supply for lower electrode ACG10B 1000W RF Power supply for upper electrode Tuner Remote gas box: (4) MFCs (Ar,O2, SF6, C4F8) 208V.
STS/CPX Multiplex ASE ICP 蚀刻器/asher是一种高度先进的蚀刻和灰化晶片工具。它是一种多区域设备,允许在不同的腔室同时进行不同的蚀刻和灰化过程。该系统配备了高频电源和精密的数字控制系统,使用户能够完全控制蚀刻和灰烬过程。STS Multiplex ASE ICP 蚀刻器/asher是一个高效的单元,提供感应耦合等离子体(ICP)蚀刻和灰化。它被设计成在高压下运行不稳定和连续,从而提供优越的晶圆光洁度和均匀性。机器的等离子体源和集成的射频匹配网络经过精心设计,使等离子体中的氢稀释最小化,有助于确保非常光滑的薄膜轮廓。CPX Multiplex ASE ICP 蚀刻器/asher的ICP腔室也被设计为适应高功率密度和高压操作,使其成为最复杂蚀刻作业的理想选择。它具有铜衬里,有助于降低寄生电容和提高重复和规范控制蚀刻过程。此外,腔室特别设计的墙条确保了蚀刻区域的全360度覆盖。Multiplex ASE ICP 蚀刻器/asher配有高分辨率数字成像工具,可以在蚀刻过程中精确监控和测量晶片的形状和轮廓。此资产还允许用户存储和召回结果,并将其用于监视随时间推移的蚀刻过程。STS/CPX Multiplex ASE ICP 蚀刻器/asher是一种非常可靠的工具,能够及时提供高质量的结果。它为各种晶片的蚀刻和灰化提供了一个先进的平台,使高度复杂的过程能够快速高效地完成。这使得该模型非常适合应用于各种工业、医疗和汽车领域。
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