二手 STS / CPX Multiplex ASE ICP #9398827 待售

STS/CPX Multiplex ASE ICP（感应耦合等离子体）蚀刻器/asher是一种最先进的蚀刻和灰化设备，旨在提供广泛的图样和表面处理应用。它结合了多个独立蚀刻和ashing子系统在一个单一的集成平台内。STS Multiplex ASE ICP 蚀刻器/asher的设计提供了一种替代手动灰度的方法,其通用的光电系统可同时控制等离子体条件、气流和射频功率。该单元利用ICP技术实现了出色的跨基板和精细表面分辨率的蚀刻均匀性，同时解决了高密度集成电路产品的蚀刻和灰化要求。机器在一个盘柜中包含多个蚀刻室，以提高产量。STS Multi-Plex ASE的400和600瓦RF源允许针对每个蚀刻步骤优化等离子体密度，提供高水平的控制。每个步骤都可以有自己独特的配方，允许严格控制蚀刻深度和特征大小。CPX Multi-Plex ASE还提供先进的气流控制，以尽量减少耗材浪费，保持严密的过程控制。这是通过强大的多级气流控制工具实现的。气流控制器可以灵活地划分多达10种不同的气流配方和工艺流程。STS/CPX Multi-Plex ASE还具有高精度晶圆加载资产，允许最大吞吐量和最小化非生产性时间。此模型可确保晶圆对齐和稳定,同时将吞吐量提高50%。总之,CPX Multiplex ASE ICP是一种先进的蚀刻器/Asher,与手动Ashing相比,它提高了产量和吞吐量。该设备具有ICP技术、射频源、气流控制、高精度晶片加载等特点，可实现集成电路产品的快速、准确、可靠的蚀刻和灰化。