二手 STS / CPX Multiplex ASE #293748419 待售
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ID: 293748419
晶圆大小: 4"-6"
优质的: 1997
ICP Etcher, 4"-6"
Vacuum pump
Chamber type: Ceramic chamber
Process: SiO and Bosch
ESC Chuck
SEIKO SEIKI Turbo pump
EDWARDS QDP40/EH250 Pump
1997 vintage.
STS Multiplex Asher是一种先进的微电子制造应用蚀刻器和asher解决方桉。该设备旨在提供最高的吞吐量和生产率,同时消除在蚀刻过程中产生的空气传播颗粒和其他副产品。Multiplex Asher是一种基于CPX技术的ASE(Ashesh基板蚀刻器),一种高效的电化学蚀刻和灰化工艺。采用这种技术,与现有的蚀刻和灰化系统相比,蚀刻和灰化基板所需的时间减少了一半。这使得它成为大规模生产微电子元件的理想解决方桉。STS/CPX Multiplex Asher具有许多旨在优化性能的功能。这包括一个多路复用系统,它可以同时灰化和蚀刻多个基板。单个命令可用于在一个批处理周期内运行一系列蚀刻和ashing操作。该单元还具有可编程的用户界面,以便于操作。此外,还包括一个高精度喷嘴,以确保精确的蚀刻结果。此外,STS Multiplex Asher利用低压气体输送进行蚀刻工艺。气体幕将释放的粒子减少到接近零,同时也提供了较低的环境影响。这项技术也被广泛应用在光刻应用中,因为由asher产生的恒定且均匀的气体压力有助于消除由于气流变化而造成的蚀刻深度的随机变化。最后,CPX Multiplex Evolution Asher获得了ICC(集成电路清洁室)应用的认证。该机器设计为在洁净室环境中以及在定义的过程限制和安全要求内运行。这使得工具可以在现代制造环境中所要求的严格质量控制参数内使用。总体而言,STS/CPX Multiplex Asher是一种先进的蚀刻器和Asher资产,可提高生产效率和提高质量。Multiplex Asher凭借其多重技术和用户友好的界面,是微电子制造的理想解决方桉。
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