二手 STS / CPX Pegasus #293597735 待售
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ID: 293597735
晶圆大小: 8"
优质的: 2006
Etcher, 8"
(2) Chambers
Power Distribution Unit (PDU)
Cluster Tool Controller (CTC) Cabinet
(3) Rotary pumps
(2) Turbo pumps
(3) SMC HRZ-001 Chillers
Process module (PM2, PM3):
Source assembly
Lower assembly
Electrode assembly
External component
Gas box
MKS RF Generator, 6.5 kW
MKS / ENI ACG 3B RF Generator, 13.56 MHz
MKS Baratron gauge, 10^-4 to 10^-1 mTorr
MKS 750 Capacitance, 10-760 Torr
BOC EDWARDS Active gauge, 10^-4 mTorr to 10 Torr
Ceramic ESC
Pumpdown, 500 mTorr
APC Valve open
Load lock pump down, 80 mTorr
Gate valve open
Temperature: ±2° C
Forward power: ±1 % Vibration
Ref power: ±1% Vibration
Gases: SF6, C4F8, O2, N2, Ar
Flow rate (±2 % Vibration):
Gas / MFC
C4F8 / 400 SCCM
SF6 / 1200 SCCM
Ar / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
He / -
Transport module (TM):
MX600 Handler
Vacuum Cassette Elevator (VCE)
Safety node
Tracking optics
Inligner
(4) Coolers and (4) heaters:
House water
SMC HRZ-L2-DY DI Water chiller
SMC HRZL-D Silicon oil chiller
Insert heater
Gas tubes has been replaced
Power supply: 380 V, 60 Hz, 160 A
2006 vintage.
STS/CPX Pegasus是Semflex Group提供的高性能蚀刻器/asher设备,它为各种基材提供了一系列先进的蚀刻和灰化工艺。该系统基于最新的电磁蚀刻和灰化技术，经过设计，为广泛的蚀刻和灰化应用提供一致、可重复、高质量的结果。STS飞马单元由一个先进的多站处理机器人、一个蚀刻室、一个ashing炉以及多个先进的控制和监控系统组成。该机器能够使用多种不同的基材材料，并且可以处理尺寸不超过500毫米的晶片。蚀刻室设计为提供超高密度蚀刻，而灰化炉设计为提供高效、可控、安全的灰化操作。多臂机器人用于在蚀刻室和ashing炉之间转移晶片。其精密的设计能够控制晶片自旋，并确保晶片在整个蚀刻过程中的精确排序和定位。机器人还能够识别、加载和卸载晶片，并且可以控制各种附加过程，如晶片清洗、定向和对准。该工具具有一系列安保和安全功能，包括先进的温度控制系统、空气和气体流动保护以及监测和安全联锁。这些功能有助于最大限度地减少蚀刻操作过程中的任何潜在风险,并为操作员提供安全的体验。CPX飞马资产还旨在最大限度地提高其内部加工晶片的质量和完整性，同时提供极大的灵活性和过程控制。凭借其创新的纳米技术和先进的控制系统，该模型在蚀刻和灰化时提供了前所未有的精度和可重复性。所有这些功能,加上设备的多功能性,使其成为各种应用程序表面的蚀刻和灰化过程的理想解决方桉。
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