二手 STS MXP Multiplex #9005442 待售
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ID: 9005442
晶圆大小: 6"
优质的: 2003
ICP HR Chlorine etch system, 6"
Process: Silicon etch bosch
Capable, 2"-8"
EDWARDS E2M40 Loadlock pump
PFEIFFER MAG 2000 High vacuum pump
EDWARDS IQMB250 Roughing pump
EDWARDS IQDP80 Roughing pump
ADVANCED ENERGY RFG 3001 RF Generator
HUBER Unistat 140 W
Loadlock
(5) Gases
Chiller
Gases: BCl3, Cl2, O2, Ar, He
Accessories:
Balun coil ICP V2
Mechanical clamp
Helium backside cooling
(2) MkIV MPX Carousel, 6"
Power supply: 3 kW, 300 / 30 W Platen
Purge gas line
E-Rack modules:
HCL1
HCU3
HCU5
VAC3Y
(2) AMC1
HBC2
Operating system: Windows 2000
Power supply: 400 V, 50 Hz, 40 Amp, 3 Phase
Configured power supply: 208/460 V, 60 Hz, 3 Phase
CE Marked
2003 vintage.
STS MXP Multiplex是为满足最高标准而设计的高品质集成蚀刻器/asher。在创新设备中设计了多功能功能和灵活性,使用户能够在同一模块中进行蚀刻和粉刷,并对各种不同的材料进行快速、简单和可靠的处理。具有蚀刻和asher功能的MXP Multiplex是一种紧凑、高效和高效的多功能处理解决方桉。它具有与DIN兼容的体系结构,其模块化程度足以允许选择蚀刻或asher操作。该系统在交流电源和直流电源上运行,操作灵活,简单的用户友好界面便于设置和使用。先进的加热蚀刻室可提供极其精确、高分辨率的蚀刻结果,绝对控制温度和曝光时间。该腔室的设计是为了确保统一的加工条件,具有精确的温度控制和高度均匀性在广泛的蚀刻材料。此外,加热和冷却元件的设计提供了最大的安全性和能源效率。集成的Asher确保了加工需要蚀刻和灰化的材料时的最大精度和效率。与传统的灰化系统不同,STS MXP Multiplex具有主动、露天、灰化功能,能够准确、快速地处理湿和干灰化材料。该单元特别适用于多层蚀刻/灰化基板,确保卓越的精度、吞吐量和可靠性。MXP Multiplex可以轻松地与其他蚀刻器/asher系统或独立计算机集成,从而为用户提供灵活性、可扩展性和成本节约。此外,该机与大多数类型的板材和材料高度兼容,包括环氧树脂、聚酰亚胺和丙烯酸层压板。高速、准确、可靠的STS MXP Multiplex是设计师和工程师的理想选择,他们需要快速精确地处理各种基板。它为用户提供了一个易于使用、用户友好的解决方桉,该解决方桉可以快速准确地处理蚀刻和灰化项目,并确保获得卓越的效果。
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