二手 STS Pro ICP #9222701 待售

STS Pro ICP（感应耦合等离子体）蚀刻器/asher是一种专门用于微电子工业的先进蚀刻设备。它被用于集成电路和显示面板的制造过程，以及其他纳米技术应用。高精度蚀刻系统旨在在包括聚酰亚胺在内的一系列材料上提供极其精确的结果。结果中,Pro ICP主要依赖于等离子体蚀刻过程。该单元的主要部件包括等离子体发生器、射频电源、等离子体腔、负载锁室以及支撑硬件。等离子体发生器使用真空涡轮分子泵，通过诱导反应性气体分子中的电流产生等离子体。这会产生自由基、离子、原子和通电粒子，允许蚀刻过程和改善键合后的表面粘附。为了加工底物，机器利用了被加热到高温的氙气，以激活产生等离子体所需的射频功率。在等离子体室内，受影响的气体被冷却并凝结到所需的程度。根据所加工材料的不同,通过热控制工具可实现150°至700 °C （302°-1290 °F）的高度可控温度,从而在高性能材料的蚀刻过程中提供完全的热灵活性和控制。STS Pro ICP资产还配备了强大而精确的压力控制，允许精确控制负载锁、清洗系统和干泵。这提供了通用和专用的控制,同时保持最高级别的安全。此外，该模型还具有真空预览扫描电子显微镜，用于工艺验证。Pro ICP是微电子应用精密、可重复蚀刻工艺的完美解决方桉。它提供了良好的工艺控制，以确保各种材料的均匀蚀刻。该设备的精确特性和可靠的结果使其非常适合在高需求应用中使用。