二手 STS Pro ICP #9294114 待售
网址复制成功！
ID: 9294114
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP是一种最先进的蚀刻器/asher,可为工业、科学和医疗应用过程提供速度和精度。此蚀刻器/asher在几乎任何环境中都能保持卓越的设计和测量质量输出。STS ICP具有顶级铣削头,速度高达80,000 RPM。它的高精度电动机和进给速率允许精密的蚀刻和灰化作业,并在高产率下获得平稳的结果。其气动控制设计采用液晶屏，便于监测生产设置调整。STS ICP还兼容宽广的宽度和深度，分别在200至2000毫米和3至12mm之间，同时在生产过程中提供精确的控制。它还可以容纳最多三种类型的蚀刻到各种表面的尖端。除了其令人印象深刻的生产速度和设置范围外，STS ICP还具有双真空辅助系统，可确保精度和防止灰化表面氧化。STS ICP带有内置的机器视觉系统,可帮助实现自动对准和定心,并以极高的精确度考虑每一点细节。它还配备了检流计和水冷式尖端控制，以增加精度和重复性。使用STS ICP的高科技硬件和先进软件,用户可以确保他们能够获得最可靠和精确的蚀刻和灰化解决方桉。该产品适用于显微镜、医疗器械、光电子、微电子等多种工程和科学应用。STS ICP以其无与伦比的精确度、快速的处理时间、耐用的构造，是任何工业环境下的完美工具。
还没有评论