二手 STS Pro ICP #9304690 待售
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ID: 9304690
Etcher, 8", parts system
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP（感应耦合等离子体蚀刻/Asher）是由蚀刻和烧蚀设备的领先供应商STS Technologies, Inc.开发的高级蚀刻器/asher。这台机器使用高功率射频发生器与感应线圈的直接耦合，在广泛的频率范围内提供高精度、均匀的等离子体场。这导致了更快的蚀刻和灰烬时间，增强了可重复性，以及卓越的微观和纳米精度。Pro ICP系统被用于多种蚀刻和烧蚀应用，包括紫外线激光蚀刻、等离子体蚀刻、多层蚀刻、化学气相沉积、溅射蚀刻和激光烧蚀。STS Pro ICP可以同时处理一个或多个基板，具有可调的温度和压力，以及预设蚀刻或粉刷轮廓的能力。多层蚀刻和asher工艺适用于多种材料，包括薄膜太阳能电池、锂离子和锂离子电池材料、微电子等纳米材料。Pro ICP机配备了先进的智能控制设备，可以监控和调整等离子能量、气流速率、蚀刻参数等相关变量等参数。它还能够执行晶片边缘处理、均匀蚀刻、层蚀刻等自动化功能。这使得STS Pro ICP成为实现高度精确和精确的蚀刻和粉刷结果的理想工具。此外,该机器还可以与现有系统集成,用于自动化样品处理,从而使用户能够优化其生产过程。Pro ICP系统旨在为最终用户提供卓越的可靠性、安全性和性能。该单位配备安全联锁机，是ETL认证（电气测试实验室）至UL（承销商实验室）标准。蚀刻和烧蚀过程由独特的真空工具保护，确保颗粒不会成为周围环境的污染物。使用STS Pro ICP,用户可以放心,他们能够以最低的风险和最大的反应控制来实现最高的质量和准确性。
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