二手 STS Pro ICP #9361815 待售

STS Pro ICP是为工业高通量生产而设计的蚀刻器/asher。它配备了先进的特点，如工艺参数可调、层选择性、下腔加热等，使工艺配方得到精确控制。该平台利用射频感应加热技术，使其能够在0.1至1000 MHz的频率范围内运行。最大处理功率高达700 W，而最高温度范围为700-1200 °C。该设备可编程以支持多种工艺配方，包括干法蚀刻和灰化、湿法和干法制图、氧化物沉积和较高层级的蚀刻。它还包括床内剖析和高性能等离子体蚀刻等高级功能。集成控制器具有直观的图形用户界面，使系统易于使用和设置。易于使用的软件提供了广泛的灵活流程参数设置选项，而高级流程控制算法则实现了出色的稳定性和流程可重复性。Pro ICP包括一套安全功能,以及互锁和完整的监控功能。它配备了一个诊断单元，以便于故障排除和预防性维护。此外,该机器还可用于多种自动化配置,包括用于连续生产的串联工具和用于更大灵活性和作业跟踪的批处理资产。该模型可扩展以匹配不同应用程序的吞吐量和多功能性要求。总体而言,STS Pro ICP是一款可靠、用户友好的蚀刻器,适合工业高通量生产。高级功能、安全功能和自动化功能提高了灵活性,改进了过程控制和可重复性。