二手 SUMITOMO F-70H #293752729 待售

SUMITOMO F-70H是为半导体加工应用而设计的尖端蚀刻器和asher设备。这种先进的工具利用等离子技术，以高效率和精确度精确蚀刻和清洁基板。SUMITOMO F70H是一种通用系统，可用于半导体行业的广泛应用，包括光掩模清洗、抗灰化、介电蚀刻。F-70H的一个主要特点是其强大可靠的等离子体源。该机组装有一台能产生高度均匀的等离子体，过程稳定性极佳的高功率射频等离子体发生器。该等离子体源对于在基材上实现精确、均匀的蚀刻和清洁效果至关重要。F70H还配备了先进的气体输送机，可精确控制气体流量和气体溷合物。这使用户能够定制蚀刻和清洁过程以满足其应用程序的特定要求。气体输送工具配有质量流量控制器和压力调节器，以确保一致和可重现的结果。SUMITOMO F-70H除了拥有先进的等离子体源和气体输送资产外，还配备了高度可配置的工艺室。该腔室设计用于容纳各种尺寸和形状的基板，使其适合广泛的应用。腔室还配有加热和冷却模型，用于控制基板在加工过程中的温度。SUMITOMO F70H由先进的电脑化设备控制,用户可以轻松编程和优化蚀刻及清洁配方。该系统具有用户友好的界面，允许直观操作和实时监控流程参数。用户还可以存储和检索过程配方以获得可重复的结果。F-70H的另一个重要特点是其先进的端点检测单元。本机利用光发射光谱法对加工过程中的等离子体发射进行监测，准确检测蚀刻或清洗过程的端点。这使用户能够精确控制流程并确保实现所需的结果。F70H配备先进的安全功能，以保护操作员和确保操作安全。该工具设计有互锁机制，以防止在操作过程中未经授权进入加工室。它还具有安全传感器来检测和响应异常操作条件。总体而言,SUMITOMO F-70H是一种最先进的蚀刻器和asher资产,可提供高性能、多功能性和可靠性。SUMITOMO F70H凭借其先进的等离子体技术、精确的控制系统和用户友好的界面，是需要对基板进行精确蚀刻和清洁的半导体加工应用的理想解决方桉。