二手 SUNIC Tenacier-400VE #9308329 待售

SUNIC Tenacier-400VE是一种坚固可靠的蚀刻和粉刷设备，用于多种行业。它是该类中公认最广、最可靠的机器之一。Tenacier-400VE是一个集成的蚀刻和灰化系统，便于对半导体晶圆、MEMS/NEMS和其他材料等基材进行蚀刻和灰化。它适用于范围广泛的应用，从涉及半导体晶圆和集成电路（IC）的应用到涉及医学和研究应用的应用。SUNIC Tenacier-400VE配备了一个精密晶圆处理程序和一个化学品供应和管理单元，以便在过程中进行更高的控制和准确性。它带有一个RCOMS控制器，它提供易于使用的蚀刻控制软件和快速设置，以安全和可重复的操作。它配备了符合人体工程学的绕线器装卸机、专门的专有浸入式加热器，以及先进的超音速精细清洁选项。利用机器的一组特定特性同时进行蚀刻和灰化操作。它能够以清洁的结果、无化学干扰、无痕迹或划痕、一致的区域覆盖和可重复的精度进行蚀刻。在加工过程中，机器能够感应任何加热材料的精确膜厚度，并相应地调整蚀刻速度。它还具有内置过程日志跟踪功能,实时监控主要参数,并提供高级控制功能,例如压力补偿,以最大程度地减少材料翘曲或热冲击损坏。Tenacier-400VE能够进行多种工艺，包括化学/溶剂蚀刻、湿蚀刻、干蚀刻、阳极键合、电化学蚀刻和等离子体蚀刻。它还能进行介电抛光和表面修饰。该机具有高温能力，温度范围宽40至320°C，温度控制精度为+/-0.2°C。它还带有一个内置的微型超音速腔室，允许超细清洗。SUNIC Tenacier-400VE是一种安全可靠的机器,用于蚀刻和灰化过程.其安全准确的操作使其适合用于工业、研究和医疗应用。凭借其先进的控制功能，它能够以可重复的精度和优异的效果执行各种过程。