二手 TAINICS TE3100 #9144232 待售

TAINICS TE3100是一种用于半导体晶片和元件精密蚀刻和灰化的蚀刻器/灰化器。TAINICS TE 3100因其独特的工艺控制和精确的温度控制,提供了优于传统烧录技术的性能。该设备采用直观设计的触摸屏控制界面，便于设置和调整工艺参数。TE3100采用独立隔离的不锈钢工艺室，以确保高温和精确的温度控制。它可以在15分钟的单循环内达到800⁰C的温度,并通过严格的温度控制进行蚀刻和灰化。TE 3100设计方便用户,无需特殊的清洁或维护工具。这种紧凑的设计还允许系统位于晶圆制造区域附近，以便快速、方便地设置和清洁循环。它既有可选的内置排气装置，也可与外部排气机配合使用，以满足客户的应用要求。TAINICS TE3100还具有两种工艺气体选项,以实现对腔室的精确温度控制。惰性气体选项用于保护晶片在过程中不受任何氧化，以及提供稳定的大气。氧气选项用于控制蚀刻或灰化过程。该工具还具有精度为0.1°C的腔室的精确温度控制、温度指示器以及用于过程持续时间和温度测量的LED面板显示器。TAINICS TE 3100设计为经济实惠的解决方桉,可满足所有蚀刻和灰化需求。该工艺室设计用于可重复、可靠的处理。它还有一个开放的体系结构，能够灵活的蚀刻和灰化配方和参数。资产还提供简单的校准和维护,以确保最佳性能。