二手 TAINICS TEC2100 #9160922 待售

ID: 9160922
优质的: 2009
PECVD System Currently installed in clean room 2009 vintage.
TAINICS TEC2100 蚀刻器/asher是一种先进的蚀刻和灰化设备,具有各种必要的特点,便于生产薄膜、半导体材料和光刻涂层晶片等微加工工艺。它设计为与多种基板配合使用,并配有广泛的集成配件,便于优化基板加工。TEC2100有一个由不锈钢构成并由先进微处理器控制的真空室。这允许精确的温度控制,使得它非常适合蚀刻临界基板,如超薄膜和精密元件。该腔室还可用于含有盐酸等有害物质,其高效的泵送系统有助于确保危险蒸气安全排出。该单元配备了多种定制配件,如用于控制蚀刻时间的自动关闭功能、用于控制基板温度的温度传感器以及用于维持低污染工作环境的电子控制屏蔽门。TAINICS TEC2100还包括一个12点多头加热器,可用于加热电压和电流不同的样品,以便进行最佳基板蚀刻。TC 2100直观的触摸屏控制面板允许您轻松监控腔室的湿度、压力和温度,以及访问各种预先编程的蚀刻配方。这有助于确保不同材料和基材的一致和可靠的蚀刻工艺。机器在垂直和水平方向上运行,为各种过程提供了灵活性。TAINICS TEC2100专为持久的性能而设计,包括一年的安全保证。它经过优化,以满足当今微加工工艺的苛刻需求,使其成为研究人员、技术人员和制造商的理想蚀刻和灰化工具。
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