二手 TECHNICS 220-II #9124218 待售

ID: 9124218
晶圆大小: 4"
Barrel plasma asher (3) Three gas channels with mass flow controllers Stainless steel chamber process up to 4” dia 300 Watt 13.56 MHz power supply Substrates.
TECHNICS 220-II 蚀刻器/asher是一种用户友好的高性能台式机设备,它在一个平台中结合了蚀刻和研磨的功能。它采用由五个主要模块组成的模块化设计,旨在使用户能够以比大多数市售系统低得多的成本,以高质量和精确度生产电路和设备模式。220-II 蚀刻器/asher的第一个模块是高速半导体蚀刻器。此蚀刻模块提供了卓越的Si: Si蚀刻速率,使用户能够获得更高水平的蚀刻精度,而其他常规系统则难以做到这一点。蚀刻模块的高吞吐量带来了卓越的吞吐量能力和对蚀刻深度的改进控制。Ashing模块提供了一个强大的五通道射频等离子体源,可产生高温、高反应性的通量,从而实现有效而精确的Ashing操作。TECHNICS 220-II的灰化模组具有高温能力,使得各种材料如Si、SiO2、SiN、聚酰亚胺等聚合物和电介质都能灰化。该系统的第三个模块提供了一个快速、精确的无掩码光刻单元。220-II的无掩码光刻机使用高分辨率投影工具,提供卓越的图样清晰度功能,能够精确定义设备和图样。与支持多种设计等其他功能一起,无掩码光刻模块为用户提供了完成复杂设备的经济高效的解决方桉。资产的第四个模块提供了一个串联检查模块,旨在识别和纠正光刻操作过程中的设备关键缺陷。串联检查模块允许高速检测和纠正设备关键缺陷以及应用通过/失败标准。此外,该模型使高级算法的使用能够提高检测的准确性。设备的第五个模块是一个手动机器人工具,提供设备测试、原型设计和装配操作所需的几个硬件组件。此工具使用户能够快速轻松地组装关键设备,然后对其进行测试以确定设备性能。手动机器人工具还提供了其他功能,如应用程序特定的设备探测、现场操作和分析以及故障隔离。综上所述,TECHNICS 220-II 蚀刻器/asher是一个可访问但功能强大的系统,适合希望以高质量和精确度同时产生电路和设备模式的用户。通过其五个主要模块,该单元旨在为用户提供一个高效且价格合理的蚀刻和灰化操作解决方桉。
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