二手 TECHNICS DR 5100 #177471 待售

TECHNICS DR 5100是一款高性能的蚀刻器/asher，设计用于照顾集成电路（IC）生产过程中的蚀刻和灰化要求。利用具有自动光束对准技术的多光束准分子激光源，实现了整个IC所有区域干蚀刻的高均匀性，提高了器件性能。DR 5100是一种全自动设备,操作方便用户,允许在IC工厂中以最低的人员配置要求进行精确和可重复的流程。它具有精确结果的高精度模式对齐，并自动调整工艺参数以获得最佳结果。平台可适应箭头、各向异性、台面和空白等不同蚀刻图桉。该机器有两个独立的蚀刻和灰化处理室，以实现同一系统的同时蚀刻和灰化。该机提供高精度蚀刻深度控制、可调蚀刻深度和ashing速度、精确可调蚀刻工艺参数以及精确的纵向定量控制。TECHNICS DR 5100的泵机由涡轮分子泵和循环氮气净化机两个阶段组成，确保了完全清洁的真空。它配备了精确的UV激光源，可以通过以太网或RS 232进行控制。该工具具有使用摄像头监控和控制生产中的IC的能力，并具有从流程模块发送信号的监控资产。这允许实时的过程反馈，以及晶圆温度、氮气压力和蚀刻深度的实时监测。这是一个理想的平台，一个IC晶圆厂想要提高他们的吞吐量和提高生产过程。DR 5100是一款可靠、健壮且功能强大的蚀刻器/asher,旨在满足集成电路的所有蚀刻和灰化要求。