二手 TECHNICS Micro RIE 800 #9239257 待售

TECHNICS Micro RIE 800是一种蚀刻器，或称asher，是一种用于通过与等离子体化学反应从表面蚀刻或去除材料的设备。它专为半导体晶片、膜、显示器和碳纳米管等非常小的特性和材料的等离子体蚀刻而设计。Micro RIE 800有一个由微波源组成的等离子体源，提供高达800 W的微波功率。它还配备了一个匹配的设备，用于向射频等离子体腔室精确供电。这样可以确保整个样品均匀蚀刻。蚀刻室本身是一个压力控制的半密闭蚀刻室，尺寸为400 x 277 x 157mm。它旨在向样品表面注入精确瞄准的Ar/O2等离子体。TECHNICS Micro RIE 800还拥有6通道气体输送系统，控制分辨率为0.1 SLM。这允许对等离子体化学的精确控制。通过安装传感器确保安全,以确保蚀刻室内的安全操作压力。此外,设备中还嵌入了一个RF电源监视器,可在电源过多时保护ETCHER。Micro RIE 800具有模块化设计，因此用户可以通过增加额外的模块轻松升级。这允许更大的灵活性，并允许用户定制机器以适应他们的特定要求。此外,该工具的设计效率极高,蚀刻速率高,样品损坏最小。TECHNICS Micro RIE 800易于使用，适用于一系列微蚀刻应用。它具有用户友好的触摸屏界面，允许直观操作。它还包括一组远程操作软件,用户可以使用该软件远程监视蚀刻过程。这为用户提供了对其蚀刻过程的完全控制。总体而言,Micro RIE 800是精密蚀刻非常小的特性和材料的绝佳工具。它结合了强大的微波源和优化的匹配资产，提供高蚀刻速率和优良的样品质量。