二手 TECHNICS Micro RIE Series 800-II #9303728 待售

TECHNICS Micro RIE系列800-II是微电子工业中精密蚀刻和灰化的最先进的蚀刻和灰化机。Micro RIE Series 800-II配备了5英寸直径乘5-2/5英寸（125毫米）的曝光窗口，并具有运动、扫描和基本曲线的高级舞台控制功能。该设备基座采用高性能导电石墨绝缘隔热装置，可在1°C以下进行高级温度控制，并设有石英密封排气口，以防止污染。TECHNICS Micro RIE Series 800-II还具有先进的债券相关器软件包和直观的图形用户界面，允许精确的过程控制。Micro RIE Series 800-II配备了淬火压力控制器功能，允许精确控制和可重复的工艺设置，以实现最佳蚀刻或灰化。该系统还能够同时控制多达三种气体进行精密蚀刻和灰化。高通量高频等离子体发电机具有低至1W的功率水平，在敏感的小面积过程中具有良好的控制能力。快速的4步过程确保了高质量的过程,只需几秒钟的曝光即可完成灰度处理。TECHNICS Micro RIE系列800-II由高质量的材料和组件组成,可实现最高的精度和精确度。该单元由电压高达220V的单相0.2 kW电机控制机供电。高级控制器还具有PI控制功能,可实时调节灰分过程中的暴露和压力。Micro RIE系列800-II还提供多种安全功能,包括紧急关闭功能,以确保用户始终安全。高性能、耐腐蚀的等离子体发生器处理间隔短至0.1秒，确保了精确蚀刻。TECHNICS Micro RIE系列800-II非常适合用于微电子行业。5 "x 5-2/5"（125毫米）蚀刻器/灰烬是精确、快速蚀刻和灰烬的理想选择。该工具具有准确、可重复的流程设置、高级阶段控制以及直观的图形用户界面。其快速的4步工艺、单相0.2 kW电机控制资产、高通量高频等离子体发生器，使Micro RIE系列800-II微电子蚀刻和灰化的首选。